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地址:上海市松江區(qū)沈磚公路5666號(hào)1幢B棟602室在我國(guó)“潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2002中對(duì)潔凈室潔凈度等級(jí)已做出了規(guī)定（見(jiàn)下表），這一規(guī)定是采用了國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644中的潔凈度等級(jí)。目前，我國(guó)、歐盟、日本、俄羅斯等國(guó)的潔凈度等級(jí)均采用或參照上述國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)來(lái)制訂本國(guó)或本地區(qū)的潔凈室潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。美國(guó)也將本國(guó)的FS 209E中潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)修改為ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(jí)（ISO 14644）
|
空氣潔凈度等級(jí)（N） |
≥表中粒徑的較大濃度限值（個(gè)/m3） |
|||||
|
0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
|
|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注：
① 每點(diǎn)至少采樣3次。
② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2個(gè)粒徑。
④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子較大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）
潔凈室潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
CN= 10N ×(0.1/D)2.08
公式中: N —為潔凈度等級(jí)可在1~9級(jí)中間以0.1為較小單位遞增量插入。
CN —大于或等于要求粒徑的粒子較大允許濃度（PC/m3），以四舍五入至近似的整數(shù)，有效位數(shù)不超過(guò)三位數(shù)。
D —要求的粒徑（μm）。
0.1—常數(shù)（μm）。
A： 在集成電路制造領(lǐng)域，潔凈車(chē)間的環(huán)境參數(shù)控制堪稱(chēng)生產(chǎn)高質(zhì)量芯片的關(guān)鍵所在，而溫度控制更是重中之重。哪怕是極…
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A： 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，凈化車(chē)間的平面布局至關(guān)重要，它直接關(guān)系到生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量以及企業(yè)的運(yùn)營(yíng)成本。而勤哲凈…
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